包括西门子法(包括改良西门子法)、流化床法和冶金法(包括物理法)。国际上生产高纯多晶硅的生产工艺仍以"改良西门子法一三氯氢硅氢还原法"为主(约占全球总产量的80%)。
多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。
改良西门子法是在西门子法工艺基础上,增加还原尾气干法回收系统、SiCl4 氢化工艺,实现闭路循...
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